原子荧光光谱分析法（AFS）是20世纪六十年代中期以后发展起来的一种新的痕量分析方法。原子蒸气受到具有特征波长的光源照射后，其中一些自由原子被激发跃迁到较高能态，然后活回到某一较低能态（常常是基态）而发射出的特征光谱叫做原子荧光。各种元素都有其特定的原子荧光光谱，根据原子荧光强度的高低可测得试样中待测元素的含量。

1964年，Winefordner和Vickers等人提出并论证了原子荧光光谱法可作为一种新的化学分析方法。自20世纪70年代以来，国内外许多专家、学者、企业共同致力于原子荧光光谱商品化仪器的研制和开发。

美国Technicon公司于1976年生产出*一台原子荧光光谱仪AFS- 6，它采用脉冲调制空心阴极灯作光源，以计算机作控制和数据处理，能同时测定6个元素。20世纪80年代初，美国Baird公司研制出AFS-2000型多道无色散原子荧光光谱仪，它采用电感耦合等离子体(ICP)作原子化器，可12道同时检测。此后，国外原子荧光商品化仪器的发展非常缓慢。直到1993年，才有英国PSA公司生产的蒸气发生-无色散原子荧光仪器，它能同时检测As、Sb、Bi、Hg、Se、Te等6种元素。90年代末，加拿大Aurora公司推出一款氢化物发生-无色散原子荧光仪(HG—AFS)。21世纪初，美国Leeman Labs公司和德国Analytik Jena公司分别研制并推出原子荧光测汞仪。

我国从20世纪70年代中期开始研制原子荧光光谱仪器，原子荧光技术及其商品化仪器在我国得到飞速发展和普及推广。1975年，西北大学研制出以低压汞灯作光源的冷原子荧光测汞仪；同期，中科院上海冶金研究所研制出用高强度空心阴极灯作光源、氮隔离空气-乙炔火焰作原子化器的双道无色散AFS仪。1979年，西北有色地质研究院成功研制了以溴化物无极放电灯作激发光源的HG AFS仪，为原子荧光光谱仪在我国成功实现商品化奠定了重要基础；该院随后研制开发了WYD、XDY-1等双道AFS仪。1987年，刘明钟等人成功研制了脉冲供电特制空心阴极灯，这种高性能激发光源为HG -AFS仪在我国的普及推广创造了条件；在此基础上研制生产的XDY-2无色散HG-AFS仪以屏蔽式高温石英炉作原子化器，手动进样、双道同时检测、微机控制，堪称为我国AFS发展*具有里程碑意义的仪器。1996年我国推出了款全自动AFS-230型HG—AFS仪，采用断续流动进样装置，实现了氢化物发生反应的自动化。随后，我国相继研制生产出AFS-610、AFS一230、SK一800、AFS一2202、AFS一830、AFS一9800、SK-锐析、AFS- 930、AFRoHS-400等高灵敏商品化原子荧光仪，使得我国HG AFS仪的研制和应用水平，处于*地位。