原子吸收光谱法采用的原子化方法主要有火焰法、石墨炉法和氢化物发生法。
1火焰原子化其过程。在这过程中，大致分为两个主要阶段：
（1）从溶液雾化至蒸发为分子蒸气的过程。主要依靠于雾化器的性能、雾滴大小、溶液性质、火焰温度和溶液的浓度等。
（2）从分子蒸气至解离成基态原子的过程。主要依靠于被测物形成分子的键能，同时还与火焰的温度及气氛相关。分子的离解能越低，对离解越有利。就原子吸收光谱分析而言，解离能小于3.5eV的分子，轻易被解离；当大于5eV时，解离就比较困难
2石墨炉原子化样品置于石墨管内，用大电流通过石墨管，产生3000℃以下的高温，使样品蒸发和原子化。为了防止石墨管在高温氧化，在石墨管内、外部用惰性气体保护。石墨炉加温阶段一般可分为：
（1）干燥。此阶段是将溶剂蒸发掉，加热的温度控制在溶剂的沸点左右，但应避免暴沸和发生溅射，否则会严重影响分析精度和灵敏度。
（2）灰化。这是比较重要的加热阶段。其目的是在保证被测元素没有明显损失的条件下，将样品加热到尽可能高的温度，破坏或蒸发掉基体，减少原子化阶段可能碰到的元素间干扰，以及光散射或分子吸收引起的背景吸收，同时使被测元素变为氧化物或其他类型物。
（3）原子化。在高温下，把被测元素的氧化物或其他类型物热解和还原（主要的）成自由原子蒸气。
3氢化物发生法在酸性介质中，以（KBH4）作为还原剂，使锗、锡、铅、砷、锑、铋、硒和碲还原天生共价分子型氢化物的气体，然后将这种气体引进火焰或加热的石英管中，进行原子化。