原子荧光分光光度计主要由电光系统、光学系统、光电系统、电子系统和数据处理、输出打印系统等几个部分组成。
(1)电光系统 ：电光系统主要由氘灯、钨灯和相应的电源组成。电光系统对整机的稳定性有很大的影响，是仪器不稳定的主要原因之一。
(2)光学系统：光学系统包括外光路系统（转向平面镜、聚光镜）、单色器两个主要部分；其中，外光路和单色器各有很多类型。单色器是紫外可见分光光度计杂散光的主要来源，是整机使用时，主要分析误差的来源之一。
(3)光电系统：夕光电系统是将光信号变为电信号的关键部件，直接影响仪器的灵敏度和适用范围；一般有光电管、光电倍增管、硅光电池、二极管阵列等。
(4)电子系统 ：电子系统主要由放大器、A/D变换器等组成；其中的放大器，也是影响整机灵敏度、稳定性的主要部件。它又是仪器噪声的主要来源部件，直接影响原子荧光分光光度计的分析误差。
(5)原子荧光分光光度计数据处理、输出打印系统 ：数据处理、输出打印系统是决定整机的自动化程度的关键部件；特别是软件部分，直接影响紫外可见分光光度计的质量。