原子荧光光谱仪通过测量待测元素的原子蒸气在辐射能激发下产生的荧光发射强度，来确定待测元素含量的方法。在冶金、地质、石油、农业、生物医学、地球化学、材料科学、环境科学等各个领域都有涉及。 它是由由光源提供能量使样品蒸发、形成气态原子、并进一步使气态原子激发而产生光辐射；然后将光源发出的复合光经单色器分解成按波长顺序排列的谱线，形成光谱。
原子荧光光谱仪使用时的注意事项：
（1）原子荧光光谱仪火焰原子化器的维护与原子吸收分光光度计相同，要保证雾室的废液畅通无阻，才能点火。点火的顺序是先开启助燃气后开启燃气，熄灭的顺序是先关闭燃气，待火熄灭后再关闭助燃气。如果发生“回火”事故，应迅速关闭燃气，然后关闭助燃气。
（2）主要为通冷却水进行冷却，避免把石墨炉原子化器烧坏。
（3）空心阴极灯的维护 不要用硬物撞击空心阴极灯，换灯时，要穿戴纱手套；热的灯管要防止被溶液溅射；一旦石英窗口被污染，要用脱脂棉蘸无水乙醇擦拭干净。
（4）供气管道的维护与检漏 供气管道要经常检查、检漏。如果发现管道老化发硬变黑，要及时更新；如果有漏气现象应采取堵漏措施。
（5）燃烧器的维护 如果发现燃烧器的火焰分叉，应马上熄灭火焰，采用刀片等适当工具把缝口的积盐等污染物除去，或把燃烧器取下用水冲洗排除污物。
（6）原子荧光光谱仪雾化器的金属毛细管的维护与检修 当雾化器的金属毛细管被堵塞时，可用洗耳球从出样口吹气，排除堵塞物，或用较软的金属细丝进行疏通。
（7）原子荧光光谱仪ICP原子化器的维护 ICP原子化器的各种炬管多为玻璃材料制成，容易破碎和堵塞，所以要小心使用，不要碰击硬物或摔碎。如果被样品残留物堵塞，可以用酸洗或溶剂清洗。
（8）原子荧光光谱仪光电倍增管检测器的维护 光电倍增管怕强光照射，强光照射会使其发生疲劳效应，使其性能变差。因此，要使其置于暗处，此外还要防尘、防潮。要常常用软毛刷、洗耳球去吹刷积尘。一旦发现性能下降，应进行检查，从易至难，逐一查找。